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產(chǎn)品概覽 技術(shù)規格 資料下載 行業(yè)應用

適合于前道到后道工程的晶圓檢查


AL120晶圓搬送機可對應200mm以下晶圓尺寸的硅、化合物晶

圓,以**高效搬送薄片晶圓,非常適合于前道到后道工程的晶圓檢查。



適應范圍廣、搭配靈活

對應多種尺寸組合
我們推出了200 mm專(zhuān)用型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型(對應小于150 mm的晶圓)的3種型號。除此以外,您還可以根據檢查模式,選用微觀(guān)檢查專(zhuān)用型號"L型"或微觀(guān)?宏觀(guān)檢查兼用型號"LMB型"。

晶圓尺寸?厚度對應表


薄片檢查
對應薄片制造廠(chǎng)家的需求,AL120-LMB-90搭載的新型搬送手臂的設計可以搬運整盒25枚90 μm的極薄晶圓。


高度實(shí)用性

進(jìn)一步優(yōu)化的宏觀(guān)檢查


背面宏觀(guān)360゜旋轉
? 宏觀(guān)檢查手臂可以360゜旋轉,更為容易發(fā)現傷痕和微塵。

? 利用360゜旋轉功能,完全可以目視檢查整個(gè)晶圓(包括邊緣)。

此外,在表面宏觀(guān)檢查中,使用操縱桿可隨意將晶圓*大傾斜30゜進(jìn)行觀(guān)察。


操作便捷
? 為了滿(mǎn)足各種常規檢查的要求,AL120可以登記多達10個(gè)檢查程序。使用這一功能可以記錄特定的卡盒、晶圓和傳輸速度??焖俨藛芜x擇按鈕則可以讓操作員立刻切換不同程序。
? 晶圓搬送機的菜單設置和設置參數都會(huì )在新型的LCD顯示器上顯示。 使用RECALL按鈕可以顯示檢查時(shí)登記的有缺陷的對應SLOT,便于操作者再次確認。
? AL120使用非接觸光學(xué)定位、查找和對齊缺口/平面,可以減少晶圓和設備之間的接觸,提高晶圓的清潔度。


高度可靠性

優(yōu)先考慮晶圓和操作者的**
? 為了能夠**的安裝晶圓,采用了在裝置正面放置片盒的設計。
? 在**性和人機工學(xué)上通過(guò)了SEMI S2/S8檢測,同時(shí),在環(huán)境保護方面遵守了RoHS指令。


堅固、耐用的顯微鏡底座
AL120搭載奧林巴斯MX專(zhuān)業(yè)晶圓檢查顯微鏡系列,通過(guò)各種觀(guān)測方法,包括:明視場(chǎng)、暗視場(chǎng)、微分干涉(DIC)、近IR(近紅外線(xiàn))和DUV(深紫外線(xiàn)),實(shí)現了清晰的圖像分辨率和清晰度。電動(dòng)物鏡轉換器和孔徑光闌相互鎖定,可以?xún)?yōu)化各物鏡的照明和對比度。如果特別訂制,AL120還可以應用到其他型號的顯微鏡上。


人機工程學(xué)設計的載物臺
? 手動(dòng)快速釋放真空載物臺可以提高操作員的舒適度和工作效率,標準功能為XY軸控制和晶圓旋轉功能。
? 可通過(guò)操縱桿或預編程的程序控制電動(dòng)載物臺,進(jìn)一步將檢查過(guò)程自動(dòng)化。只需一鍵便可驅動(dòng)載物臺返回或離開(kāi)load/unload位置及原點(diǎn)位置。 

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