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自動(dòng)300mm晶圓搬送機


AL120-12晶圓搬送機對應可使用FOUP(裝載口)和FOSB,適用于低成本的后期檢查。

**且符合人體工程學(xué)的設計確保了操作人員在搬送晶圓時(shí)(包括薄晶圓和變形晶圓)的效率和**。



人機工程學(xué)設計,操作方便 
? 可以自由設置的檢查模式,在設計上考慮了后道工程中的操作性,尤為重視設備的操作簡(jiǎn)便性。 
? 分別對應FOUP(Load Port)和FOSB的兩種機型。



堅固、可靠和**傳送 
? 延續了上一代機型的堅固性、可靠性和**性,能夠**可靠的傳送300 mm晶圓。 
? 薄片,Warped晶圓皆能**搬送。 
? 宏觀(guān)觀(guān)察位置的*優(yōu)化和操作單元的集中排列,提高了設備的操作舒適性。 

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