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從380nm~1050nm的可視光至近紅外實(shí)現大范圍波長(cháng)區域中的分光測定


奧林巴斯的近紅外顯微分光測定儀USPM-RU-W可以高速&高精細地進(jìn)行可視光區域至近紅外區域的大范圍波長(cháng)的分光測定。

由于其可以很容易地測定通常的分光光度計所不能測定的細微區域、曲面的反射率,因此十分適用于光學(xué)元件與微小的電子部件等產(chǎn)品。





實(shí)的測定功能

使用一臺即可進(jìn)行反射率、膜厚、物體顏色、透過(guò)率、入射角45度反射率的各種分光測定。

測定反射率
測定以物鏡聚光φ17~70μm的微小點(diǎn)的反射率。

反射率測定光路圖

  
反射率測定例:鏡片                                  反射率測定例:鏡片周邊部位


膜厚測定的圖例

測定膜厚


活用反射率數據,測定約50nm~約10μm的單層膜、多層膜的膜厚。

 

測定物體顏色


根據反射率數據顯示XY色度圖、L*a*b色度圖及相關(guān)數值。              

測定透過(guò)率

從受臺下部透過(guò)φ2mm的平行光,測定平面樣品的透過(guò)率。(選配)

透過(guò)率測定光路圖


測定入射角為45度的反射率
從側面向45度面反射φ2mm的平行光,測定其反射率。(選配)

45度反射率測定光路圖
域的高精度&高速測定

  

光學(xué)系圖

實(shí)現高速測定


使用平面光柵及線(xiàn)傳感器進(jìn)行全波長(cháng)同時(shí)分光測定,從而實(shí)現高速測定。


                                                                   反射率測定圖例  

                       

*適用于測定細小部件、鏡片的反射率


新設計了可以在φ17~70μm的測定區域中進(jìn)行非接觸測定的專(zhuān)用物鏡。通常的分光光度計不能進(jìn)行測定的細小電子部件或鏡片等的曲面,也可以實(shí)現再現性很高的測定。

                               

消除背面反射光的原理                                         

定反射率時(shí),不需要背面防反射處理


將專(zhuān)用物鏡與環(huán)形照明組合,不需要進(jìn)行被檢測物背面的防反射處理,就可測定*薄0.2mm的反射率*。

可選擇的膜厚測定方法
根據測定的分光反射率數據進(jìn)行單層膜或多層膜的膜厚解析??梢愿鶕猛具x擇*佳的測定方法。

                                                               

峰谷法膜厚解析經(jīng)過(guò)信息圖例

峰谷法

這是一種根據測定的分光反射率值的峰值與低谷的周期性計算出膜厚的方法,對于測定單層膜是有效的。不需要復雜的設置,可以簡(jiǎn)單地求出。


  

                                                                               

傅里葉轉換法膜厚解析經(jīng)過(guò)信息圖例

傅里葉轉換

這是一種根據測定的分光反射率值的周期性計算膜厚的方法,對于單層膜及多層膜的測定有效。難以檢測出峰值及低谷等時(shí),可以幾乎不受噪音的影響進(jìn)行解析。

  

                                                                                                         

曲線(xiàn)調整法膜厚解析經(jīng)過(guò)信息圖例

曲線(xiàn)調整法


這是一種通過(guò)推算測定的分光反射率值與根據某種膜構造計算的反射率的差達到*小的構造計算出膜厚的方法,對于單層膜及多層膜的測定有效。還可以進(jìn)行不會(huì )出現峰值及低谷的薄膜解析。


多樣化應用
高速、高精度地應對多樣化測定需求。

                                
通過(guò)測定球面、非球面的鏡片、濾鏡、反射鏡等光學(xué)元件的反射率,進(jìn)行涂層評價(jià)、物體顏色測定、膜厚測定。


數碼相機鏡片

投影儀鏡片
光讀取頭鏡片
眼鏡片




適用于LED反射鏡、半導體基板等微小電子部件的反射率測定、膜厚測定。


LED包裝
半導體基板




適用于平面光學(xué)元件、彩色濾鏡、光學(xué)薄膜等的反射率測定、膜厚測定、透過(guò)率測定。


液晶彩色濾鏡
光學(xué)薄膜




適用于棱鏡、反射鏡等45度入射產(chǎn)生的反射率測定。                                  


棱鏡
反射鏡



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