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超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡 Regulus系列
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超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列


"Regulus系列"繼承了現有機型的觀(guān)察和分析性能,配備SU8200系列的低噪音冷場(chǎng)發(fā)射電子槍*1,可以獲得高穩定的束流。




現有機型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。
"Regulus系列"繼承了現有機型的觀(guān)察和分析性能,配備SU8200系列的低噪音冷場(chǎng)發(fā)射電子槍*1,可以獲得高穩定的束流。
通過(guò)優(yōu)化電子光學(xué)系統,Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm,Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。
此外,為充分發(fā)揮超高分辨的能力,放大倍率也從過(guò)去的100萬(wàn)倍提升到200萬(wàn)倍*1。
Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶(hù)支持功能,通過(guò)此功能用戶(hù)更容易理解各種復雜信號的檢測原理,幫助用戶(hù)充分發(fā)揮儀器的*佳性能。
(*1僅 限Regulus8240/8230/8220)
特點(diǎn):


· 沿用"SU8200系列"的冷場(chǎng)發(fā)射電子槍*2
· 采用電子束在Flashing后出現的高亮度穩定區域作為穩定觀(guān)察的區間,使得低加速電壓條件下兼備高分辨觀(guān)察和分析的*佳性能
  (Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)
· 采用污染小、高真空樣品倉
· 運用能量過(guò)濾器(選配),可觀(guān)察到多種成分對比度*2

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