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IXRF磁控離子濺射儀MSP-2S/MSP-Mini利用磁控電極在低電壓下對樣品濺射金屬靶材,為SEM樣品表面噴鍍金屬鍍層,方便電鏡觀(guān)察,而MSP-mini是一款體積小巧,操作簡(jiǎn)便,無(wú)需通入特殊氣體,使用時(shí)只需設置噴鍍時(shí)間即可。

主要特點(diǎn):
1. 陽(yáng)極磁控型靶材水平裝入:極低的放電電壓減弱樣品受到的例子損傷和熱損傷;
2. 浮動(dòng)樣品臺設計:使電流不通過(guò)樣品,溫度上升很少,同時(shí)減弱離子碰撞引起的損傷;
3. 操作簡(jiǎn)便:通過(guò)定時(shí)器控制從真空排氣到啟動(dòng)放電電壓的整個(gè)過(guò)程。 
應用領(lǐng)域:
離子濺射儀在掃描電鏡中應用十分廣泛,通過(guò)向樣品表面噴鍍金、鉑、鈀及混合靶材等金屬消除不導電樣品的荷電現象,并提高觀(guān)測效率,另外可以使用噴碳附件對樣品進(jìn)行蒸碳,實(shí)現不導電樣品的能譜儀元素定性和半定量分析。

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