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產(chǎn)品概覽 技術(shù)規格 資料下載 行業(yè)應用

用于故障分析與氣氛敏感材料研究的高真空原子力顯微鏡


Park NX-Hivac通過(guò)為失效分析工程師提供高真空環(huán)境來(lái)提高測量敏感度以及原子力顯微鏡測量的可重復性。

與一般環(huán)境或干燥N2條件相比,高真空測量具有準確度高、可重復性好及針尖和樣本損傷低等優(yōu)點(diǎn),因此用戶(hù)可測量各種故障分析應用中許多信號響應,例如掃描擴散電阻顯微術(shù)(SSRM)的摻雜物濃度。

Park NX-Hivac使得真空環(huán)境中高**度和高分辨率測量的材料科學(xué)研究遠離氧氣與其它藥劑的影響。



在高真空條件下執行掃描擴散電阻顯微鏡測量可減少所需的針尖-樣本相互作用力,從而大幅度降低對樣本和針尖的損傷。如此可延長(cháng)各針尖的使用壽命,使掃描更加低成本和便捷,并通過(guò)提高空間分辨率和信噪比得到更為**的結果。因此,利用NX-Hivac進(jìn)行的高真空掃描擴散電阻顯微術(shù)測量可謂是故障分析工程師增加其吞吐量、減少成本和提高準確性的明智選擇。











Park Hivac 管理器

NX-Hivac 真空自動(dòng)控制


Hivac 管理器通過(guò)一鍵單擊在邏輯和視覺(jué)上控制*佳真空條件抽氣和排氣過(guò)程來(lái)實(shí)現高真空。各個(gè)過(guò)程通過(guò)顏色和圖示變化得到直觀(guān)監控,一鍵單擊后您即可無(wú)需操心真空操作順序。更快速、更簡(jiǎn)便的真空控制軟件使原子力顯微鏡的使用更便捷更高效。





上等自動(dòng)化特點(diǎn)


NX-Hivac具有大量功能從而能夠*大化減少用戶(hù)輸入。換言之,您可以更快速地掃描,提高實(shí)驗室產(chǎn)量。

配備電控載物臺的StepScan自動(dòng)化掃描


StepScan允許用戶(hù)能夠對器件進(jìn)行編程從實(shí)現而快速便捷地多區域成像。NX-Hivac讓您只需五步即可完成樣本掃描:掃描、提升懸臂、移動(dòng)電動(dòng)平臺至用戶(hù)定義坐標區域、進(jìn)針及重復掃描。如此可極大地提高生產(chǎn)率,*大化減少用戶(hù)輸入。






電動(dòng)激光對準


Park電動(dòng)激光對準使用戶(hù)無(wú)需輸入即可無(wú)縫銜接自動(dòng)化測量例程。憑借著(zhù)我們先進(jìn)的預準直懸臂架,在更換探針時(shí)激光已對準懸臂。只需要調整定位旋鈕,便可在X和Y軸上任意定位激光光點(diǎn),達到*佳位置。








提高精度和生產(chǎn)率

NX-Hivac即是全球*精準的高性能原子力顯微鏡,同時(shí)也是用于故障分析的*簡(jiǎn)單方便的原子力顯微鏡之一。Park NX-Hivac幫您可以提高自己的生產(chǎn)效率,并確保取得靠譜的結果。

閉環(huán)XY和Z軸掃描儀


利用兩個(gè)獨立的閉環(huán)XY和Z軸撓曲掃描儀,您可以確信掃描的高精準度。NX-Hivac提供低殘余彎曲的平面和正交XY軸掃描,使得整個(gè)掃描范圍內的離面運動(dòng)距離低于1 nm。此外,NX-Hivac的特色還有非線(xiàn)性為低于0.5%的15 μm掃描范圍的高速Z軸掃描儀,無(wú)需進(jìn)行軟件后期處理即可獲得精準的二維和三位測量。






低噪聲XYZ軸位置傳感器


NX-Hivac具有Park原子力顯微鏡行業(yè)優(yōu)越的低噪聲Z軸探測器功能,可準確測量樣本形貌,同時(shí)低噪聲XY軸閉環(huán)掃描將前后掃描間隙降低至掃描范圍的0.15%。





24位數字電子控制器


NX-Hivac的一大特點(diǎn)是NX系列電子控制器可實(shí)現時(shí)間浪費*小化、精度*大化。我們的控制器

為全數字、24位高速器件,用戶(hù)能夠利用其執行一系列掃描,包括我們的真正非接觸(True Non-Contact)模式。

控制器具有低噪聲設計和高速處理部件,是精密電壓和電流測量及納米級成像的較佳之選。嵌入式電子產(chǎn)品同時(shí)具有數字信號處理特點(diǎn),用戶(hù)可輕松地分析測量值和成像。



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