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研究型原子力顯微鏡


Park XE7配有Park Systems的所有**技術(shù),而且價(jià)格十分親民。與Park Systems的其他上等型號相比,XE7在細節的設計上也相當用心,是幫助您準時(shí)且不超預算地完成研究的理想之選。



高性能原子力顯微鏡
同級產(chǎn)品中,Park XE7能夠帶來(lái)高納米級分辨率的測量效果。得益于獨特的原子力顯微鏡架構,即獨立的XY軸和Z軸柔性?huà)呙杵?,XE7能夠實(shí)現平滑、正交且線(xiàn)性的掃描測量,從而**成像和測量樣品的特征。此外,Park所獨有的True Non-Contact?模式還能為您帶來(lái)****的圖像效果,探針可以在多次掃描后圖像的分辨率仍不會(huì )受影響。



滿(mǎn)足當前和未來(lái)的需求
在Park XE7的幫助下,現在與未來(lái)皆在您的掌控中。Park XE7帶有業(yè)內多種測量模式。這些模式不僅能滿(mǎn)足您目前的需求,也考慮到未來(lái)不斷變化的需求。再者,XE7具有市場(chǎng)上*開(kāi)源的設計,允許您整合其他附件和儀器,從而滿(mǎn)足您特殊的研究需求。


易于使用
Park XE7擁有簡(jiǎn)潔的圖形用戶(hù)界面和自動(dòng)化工具,即便是初學(xué)者也可以快速地完成對樣品的掃描。無(wú)論是預準直探針、簡(jiǎn)單的樣品和探針更換、輕松的激光準直、自上而下的同軸視角以及用戶(hù)友好型掃描控制和軟件處理,XE7能夠全力推動(dòng)研究生產(chǎn)力的提高。



創(chuàng )新究的經(jīng)濟之
Park XE7不僅僅是*經(jīng)濟實(shí)惠的研究級原子力顯微鏡,也是總體成本*低的原子力顯微鏡。Park XE7中所搭載的True Non-Contact?模式讓用戶(hù)無(wú)需頻繁更換昂貴的探針**,并且它配有業(yè)內*多的掃描模式,兼容性?xún)?yōu)良,讓您可隨時(shí)升級系統功能,從而延長(cháng)產(chǎn)品的使用壽命。



Park XE7通過(guò)消除掃描器串擾進(jìn)行準確的XY掃描

Park Systems的先進(jìn)串擾消除(XE)掃描系統能夠有效解決上述問(wèn)題。我們使用了二維柔性平臺專(zhuān)門(mén)掃描樣品的XY軸位置,并通過(guò)壓電疊堆傳動(dòng)裝置專(zhuān)門(mén)掃描探針懸臂的Z軸位置。用于XY軸掃描的柔性平臺采用了固體鋁材,其具有超高的正交性和出色的平面外運動(dòng)軌跡。柔性平臺可在XY軸掃描大型樣品(1 kg左右),頻率*高達100 Hz左右。由于XY軸的帶寬要求遠低于Z軸的帶寬要求,因此該掃描速度已然足夠。用于Z軸掃描的壓電疊堆傳動(dòng)裝置具有大的推拉力和高共振頻率(約10 kHz)。


XE scan system


適用于樣品和探針**的獨立XY軸和Z軸柔性?huà)呙杵?nbsp;


XY flexure scanner


平直正交的XY軸掃描,殘余彎曲低


 XE-Peformence



圖9. (a)表示Park Systems XE系統的背景曲率為零,而(b)是傳統的原子力顯微鏡系統的管式掃描器的典型背景曲率,(c)展示了這些背景曲率的橫截面。
圖9展示了XE系統(a)和傳統原子力顯微鏡(b)掃描硅片時(shí),未處理的成像圖。由于硅片屬于原子級光滑材料,因此圖像中的彎曲大多數是掃描器所引起的。圖9(c)展示了圖9中(a)(b)圖像的橫截面。由于管式掃描器本身帶有背景曲率,因此當X軸的位置移動(dòng)15 μm時(shí),平面外移動(dòng)*大可達80 nm。而在相同的掃描范圍內,XE掃描系統的平面外移動(dòng)則不超過(guò)1 nm。XE掃描系統的另一大優(yōu)勢是Z軸伺服回應。圖10是XE掃描系統在無(wú)接觸模式下拍下的一個(gè)多孔聚合物球體(二乙烯苯)的圖像,其直徑大約為5 μm。由于XE掃描系統的Z軸伺服回應極其精準,探針可以**地沿著(zhù)聚合物球體上的大曲率以及小孔平面結構移動(dòng),而不會(huì )壓碎或粘連在其表面上。圖11是Z軸伺服回應在平坦背景上高性能的表現。

     


Best Life, by True Non-Contact? Mode

在True Non-Contact?模式中,探針**與樣品的距離在相互原子力的控制下,被成功地控制在幾納米之間。探針**振動(dòng)幅度下,大大減少了探針與樣品的接觸,從而完好地保護了探針和樣品。

True Non-Contact? Mode

· 探針磨損更低=高分辨率掃描更長(cháng)久
· 無(wú)損式探針-樣品接觸=樣品變化程度*小
· 避免參數依賴(lài)

Tapping Imaging

· 探針磨損更快=掃描圖像模糊
· 破壞性探針-樣品接觸=樣品受損變化
· 高參數依賴(lài)性


Longer Tip Life and Less Sample Damage

原子力顯微鏡探針的**十分脆弱,這使得它在接觸樣品后會(huì )快速變鈍,從而限制原子力顯微鏡的分辨率和圖像的質(zhì)量。對于材質(zhì)較軟的樣品,探針會(huì )破壞樣品,導致其高度測量不準確。相應地,探針保持完整性意味著(zhù)顯微鏡可以持續提供高分辨率的**數據。XE系列原子力顯微鏡的真正非接觸模式能夠極大程度保護探針,從而延長(cháng)其壽命,并減少對于樣品的破壞。下圖中以1:1的長(cháng)寬比展示了XE系列原子力顯微鏡掃描淺溝道隔離樣品的未處理圖像,該樣品的深度由掃描電子顯微鏡(SEM)確定。在成像20次之后,探針幾乎有沒(méi)任何磨損。



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