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產(chǎn)品概覽 技術(shù)規格 資料下載 行業(yè)應用
可用于 300mm晶片圓測量和分析的自動(dòng)化納米測量工具


Park NX20 300mm是業(yè)界靠前大樣品原子力顯微鏡,支持300mm×300mm全程機動(dòng)化。


新升級的Park NX20系統專(zhuān)為失效分析和質(zhì)量控制實(shí)驗室設計,可有效地檢測整個(gè)

300mm晶圓,且無(wú)需任何繁瑣的樣品位移。盡管擴大了支持300mm樣品的機動(dòng)X(jué)Y工作臺,但Park的創(chuàng ) 新性振動(dòng)隔離技術(shù)仍然能夠將系統噪聲保持在低于0.5 (?) RMS,通常是0.3 ? RMS的水平。


經(jīng)檢驗的原子力顯微鏡性能和單擊-原子力顯微鏡自動(dòng)化取消了樣本調整的需求,并使Park NX20的掃描過(guò)程盡可能高效和便于使用。


通過(guò)我們的“批處理模式(Program Mode)”界面,用戶(hù)可以在整個(gè)300mmx300mm區域輕松實(shí)現可靠與可重復的順序多站點(diǎn)測量。NX20 300 mm從而成為需要掃描大樣品的FA、QA和QC工程師的優(yōu)選。




專(zhuān)為大樣品晶圓檢測而建

NX20 300 mm進(jìn)行了全新設計,可達到大樣品的*佳測量。整個(gè)300mm晶圓區域可進(jìn)行低噪聲原子力顯微鏡測量分析。這開(kāi)啟了一個(gè)全新的自動(dòng)化測量范圍,讓工程師可以更快捷、更簡(jiǎn)便、更精 確地開(kāi)展工作。



靈活的300mm樣品吸盤(pán)

Park NX20 300mm真空吸盤(pán)支持各種尺寸、形狀和類(lèi)型的晶圓,讓用戶(hù)幾乎可準確掃描任何樣品。


300mm XY軸工作臺


機動(dòng)化的300mm XY軸工作臺允許用戶(hù)在300mm的全部區域內移動(dòng)原子力顯微鏡的測量位置。



 

NX20 支持300mm樣品臺,性能已被證實(shí)

因其無(wú) 與倫比的易用性和自動(dòng)化以及不受影響的精度,NX20已是FA、QA和QC工程師的*佳選擇。憑借其支持300mm電動(dòng)X(jué)Y軸工作臺的擴大平臺,NX20 300mm更上一層樓,允許用戶(hù)輕松地以極高的精度檢測更大的樣品。



Park SmartScan?讓精 確測量更為簡(jiǎn)單


Park NX20配備了我們的SmartScan操作系統,使其成為市場(chǎng)上*易于使用的原子力顯微鏡之一。

通過(guò)直觀(guān)且極為強大的界面,即便是未經(jīng)培訓的用戶(hù)無(wú)需協(xié)助也可快速掃描大樣品。這使上等工程師能夠集中精力解決更大的問(wèn)題和開(kāi)發(fā)更好的解決方案。




a、在完整300mm晶圓上掃描多個(gè)位點(diǎn)
SmartScan?允許用戶(hù)從位點(diǎn)到位點(diǎn)和樣品到樣品的層面上,借助基于網(wǎng)格和晶圓的模式,進(jìn)行自動(dòng)順序測量與表面形態(tài)、高度和表面粗糙度的比較。這可以大大提高掃描大樣品時(shí)的用戶(hù)便利性和生產(chǎn)效率。
b、強大的工作創(chuàng )建功能
格式創(chuàng )建流程簡(jiǎn)單,允許工程師設置每個(gè)批次的位置、名稱(chēng)、數量和類(lèi)型所定義的預設。

針對廣泛應用性進(jìn)行優(yōu)化

NX20 300mm為眾多應用提供自動(dòng)格式的原子力顯微鏡測量,為納米級的樣品提供上等測量和分析。具有粗糙度、高度和深度測量,缺陷檢查,電氣和磁故障分析,熱性能表征和納米力學(xué)性能成像等能力,該原子力顯微鏡是檢測大樣品的FA、QA和QC工程師執行各種任務(wù)的理想選擇。

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