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產(chǎn)品概覽 技術(shù)規格 資料下載 行業(yè)應用

針對失效分析和大樣本研究的原子力顯微鏡


作為一款缺陷形貌分析的精密測量?jì)x器,其主要目的是對樣品進(jìn)行缺陷檢測。而儀器所提供的數據不能允許任何錯誤的存在。Park NX20這款全球精密的大型樣品原子力顯微鏡,憑借著(zhù)出色的數據準確性,在半導體和超平樣品行業(yè)中大受贊揚。

    
大**的分析功能

Park NX20具備有一無(wú)二的功能,可快速幫助客戶(hù)找到產(chǎn)品失效的原因,并幫助客戶(hù)制定出更多具有創(chuàng )意的解決方案。

****的精密度為您帶來(lái)高分辨率數據,讓您能夠更加專(zhuān)注于工作。與此同時(shí),真正非接觸掃描模式讓探針**更鋒利、更耐用,無(wú)需為頻繁更換探針而耗費大量的時(shí)間和**。

                      易于操作
ParkNX20擁有業(yè)界便捷的設計和自動(dòng)界面,讓你在使用時(shí)無(wú)需花費大量的時(shí)間和精力,也不用為此而時(shí)時(shí)不停的指導初學(xué)者。借助這一系列特點(diǎn),您可以更加專(zhuān)注于解決更為重大的問(wèn)題,并為客戶(hù)提供及時(shí)且富有洞察力的失效分析報告。

為FA和研究實(shí)驗室提供**的形貌測量解決方

樣品側壁三維結構測量


NX20的創(chuàng )新架構讓您可以檢測樣品的側壁和表面,并測量它們的角度。眾多的功能和用途正是您的創(chuàng )新性研究和敏銳洞察力所必備的。


對樣品和基片進(jìn)行表面光潔度測量


表面光潔度測量是Park NX20的關(guān)鍵應用之一,能夠帶來(lái)**的失效分析和質(zhì)量保證。



高分辨率電子掃描模式


QuickStep SCM

掃描式電容顯微鏡


PinPoint AFM
無(wú)摩擦導電原子力顯微鏡



多種獨有的磚利技術(shù)幫助顧客減少測試時(shí)

CrN樣品所做的針尖磨損實(shí)驗


通過(guò)對比重復掃描情況下探針**的形狀變化,您可以輕易看到Park的真正非接觸模式的優(yōu)勢所在。

               

AFM測量


借助真正非接觸模式,探針**在掃描氮化鉻樣品(即探針檢測樣品)200次后仍可保持鋒利的狀態(tài)。

氮化鉻的表面粗糙且研磨性強,會(huì )讓普通的探針很快變鈍。



低噪聲Z探測器測量準確的樣品表面形貌
沒(méi)有壓電蠕變誤差的真正樣品表面形貌
超低噪聲Z探測器,噪音水平低于0.02 nm,從而達到非常精準樣品形貌成像,沒(méi)有邊沿過(guò)沖無(wú)需校準。Park NX20在為您提供好的數據的同時(shí)也為您節省了寶貴的時(shí)間。
· 使用低噪聲Z探測器信號進(jìn)行臺階形貌測量    
· 在大范圍掃描過(guò)程中系統Z向噪音小于0.02 nm
        · 沒(méi)有前沿或后沿過(guò)沖現象
· 無(wú)需校準,減少設備維護成本

Park NX系列原子力顯微鏡



傳統的原子力顯微鏡



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