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專(zhuān)為超大納米平板顯示器測量而設計的自動(dòng)化原子力顯微鏡(AFM)系統


隨著(zhù)對大型平板顯示器原子力顯微鏡計量需求的增加,Park NX-TSH通過(guò)利用探針掃描器和龍門(mén)式氣浮臺的結合,克服了針對大型和重型樣品進(jìn)行納米計量的巨大挑戰。Park NX-TSH能獲得高分辨率的表面粗糙度測量,臺階高度測量和關(guān)鍵尺寸測量。


為OLED面板行業(yè)整片測量,超高尺寸鏡片測量,提供全自動(dòng)的原子力顯微鏡計量解決方案。



專(zhuān)為OLED面板行業(yè)整片測量,LCD測量提供的全自動(dòng)探針掃描器解決方案

專(zhuān)為新一代顯示器工廠(chǎng)的應用需求研發(fā)設計


Park原子力顯微鏡公司已經(jīng)擴展了原子力顯微鏡設備的測量尺寸,Park NX-TSH(龍門(mén)架設計平板式探針掃描器)可針對第八代及

大于第八代的所有大型平板顯示器進(jìn)行測量。專(zhuān)為新一代顯示器工廠(chǎng)的應用需求研發(fā)設計,樣品尺寸可以測2200 mm。



硅片直徑的變化


使用導電原子力顯微鏡,Park NX-TSH 使用可選探針站測量樣品表面,該探針站接觸樣品表面并向小設備或晶圓片上的設備提供電流。

Park NX-TSH用于帶有導電原子力顯微鏡的2D編碼器樣品,通過(guò)集成微探針站進(jìn)行電氣缺陷分析。




Park NX-TSH特點(diǎn)

克服了樣品大小和重量的限制

Park原子力顯微鏡公司新開(kāi)發(fā)的探針掃描器結合了X、Y和Z掃描器,可以直接移動(dòng)到所需測量的點(diǎn)。Park NX-TSH可以在X, Y和Z方向掃描探針頭,X- Y方向可達到100μm X 100 μm和Z方向可達到15 μm ,并有靈活的卡盤(pán),以適應超過(guò)300毫米的超大超重樣品,用于OLED和LCD大樣品分析。 樣品固定在樣品卡盤(pán)上,連接在機架上的探針掃描頭移動(dòng)到樣品表面的測量位置。 Park NX-TSH的探針掃描頭系統因此克服了樣品固定在樣品卡盤(pán)上時(shí)候樣品大小和重量的限制。



專(zhuān)為新一代顯示器工廠(chǎng)的應用需求研發(fā)設計,樣品尺寸可以測到2200 mm.


Park NX-TSH 通過(guò)利用探針掃描器和龍門(mén)式氣浮臺的結合,克服了針對大型和重型樣品進(jìn)行納米計量的巨大挑戰,可掃描出高分辨率圖像。



具有閉環(huán)雙伺服系統的100μmx 100μm柔性導向XY掃描


XY掃描器由對稱(chēng)的二維撓曲和高強度壓電疊層組成,它*小化的面外運動(dòng)能提供高度的正交掃描,用*快的響應來(lái)完成納米尺度上**樣品掃描。XY 掃描器的每個(gè)方向是都裝有兩個(gè)對稱(chēng)的低噪聲位置傳感器,在*大的掃描范圍及大樣品掃描時(shí)能發(fā)揮高效的正交性。

具有低噪聲位置傳感器的15μm高速Z掃描


NX-TSH利用其超低噪聲Z檢測器代替了通常使用的非線(xiàn)性Z電壓信號,可為用戶(hù)提供高精度測量。業(yè)界優(yōu)越的低噪聲Z檢測器取代了所施加的Z電壓作為形貌信號。 標準Z掃描器由高強度壓電堆驅動(dòng),并由撓曲結構引導,具有高共振頻率,可以實(shí)現更準確的反饋。使用可選的長(cháng)距離Z掃描儀,*大Z掃描范圍可從15μm擴展到40μm。

自動(dòng)測量控制,簡(jiǎn)易操作測量更精準!

           

aotomatic-softwareNX-TSH配備自動(dòng)化軟件,使用測量程序便可獲得**的多點(diǎn)分析,并對懸臂梁調諧、掃描速率、增益和設定點(diǎn)參數進(jìn)行優(yōu)化設置。

Park人性化設計的軟件可使用戶(hù)自由訪(fǎng)問(wèn)NX-TSH的全部功能并獲得所需的測量值。

創(chuàng )建新的測量程序其實(shí)很簡(jiǎn)單,從開(kāi)始創(chuàng )建到能夠自動(dòng)化運行只需大約10分鐘的時(shí)間,而對創(chuàng )建過(guò)的程序進(jìn)行修改的話(huà)也只需不到5分鐘。


Park NX-TSH的全自動(dòng)特征:


? 自動(dòng),半自動(dòng),手動(dòng)模式三種模式隨時(shí)切換控制
? 提供自動(dòng)化程序的編輯方法
? 實(shí)時(shí)監控測量過(guò)程
? 自動(dòng)分析所獲得的測量數據


高精度,高效率
自動(dòng)換針器(ATX)
ATX通過(guò)模式識別自動(dòng)定位針尖,并使用一種新的磁性方法來(lái)取放新舊探針。激光光斑通過(guò)電動(dòng)定位技術(shù)自動(dòng)對準。
                           


電離系統可提供更穩定的掃描環(huán)境

我們創(chuàng )新的電離系統可快速有效地去除樣品環(huán)境中的靜電荷。 由于該系統始終生成并保持正負離子的理想平衡,因此可以創(chuàng )建一個(gè)極其穩定的電荷環(huán)境,幾乎不污染周?chē)鷧^域,并且將在樣品處理過(guò)程中產(chǎn)生意外靜電的風(fēng)險降至*低。


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