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測定時(shí)間*多縮短25%*2通過(guò)超聲波高精度、高速檢查半導體、電子零部件

提供利用超聲波的反射、穿透特性非破壞檢測半導體、電子零部件內部的細微結構、缺陷并將其轉換為圖像的裝置——“FineSAT 系列”。
為了應對近年來(lái)的需求高度化,強化以往機型“FineSAT Ⅲ”的功能,開(kāi)發(fā)了能進(jìn)行更高精度、更高速的測定、檢查的“FineSAT Ⅴ”。
“FineSAT Ⅴ”將獨自開(kāi)發(fā)的數據處理軟件、為高速處理大量數據而新采用的64bit處理系統和高速、高精度掃描儀組合在一起,縮短了檢查、解析時(shí)間。





特點(diǎn)

采用提高了解析能力的64bit處理系統
標準配置可*多保存、處理4億點(diǎn)超聲波測定的數據,選購配置*1時(shí),可*多保存、處理20億點(diǎn)超聲波測定的數據。 這樣,以往使用FineSAT Ⅲ時(shí),對8英寸的晶圓進(jìn)行1次測定并轉換成圖像時(shí)的*小測定間距為40 μm,而現在使用FineSAT Ⅴ,標準配置能以20 μm的微小間距取得數據并轉換為圖像,選購配置時(shí),能以10 μm以下的微小間距取得數據并轉換為圖像,所以1次掃描就可完成大樣品的詳細測定。 另外,還可進(jìn)行支持高精度解析、評價(jià)的多種圖像顯示。

掃描儀的*大掃描速度提高到2,000mm/s,縮短了檢查時(shí)間

測定晶圓等大樣品時(shí),掃描儀的掃描速度對測定時(shí)間的影響很大。 FineSAT Ⅴ除了采用高速掃描儀,還將超聲波脈沖的發(fā)生周期降低到1/2,這樣,測定時(shí)間縮短了25%*2。 

除了加減速時(shí),掃描儀的*大掃描速度提高到2,000mm/s*3,通過(guò)新設計的高剛性框架抑制裝置的振動(dòng),所以高速掃描也能獲得鮮明的圖像。


考慮了設置場(chǎng)所、作業(yè)性的裝備
考慮在潔凈室內的使用的情況,掃描儀的門(mén)采用上彈方式,同時(shí),作為門(mén)的選購件,還準備了防靜電型透明板,提高了防塵性。
為了設置樣品、維護設備時(shí)可順暢拆裝臺面、框架,前面的下部窗口可向下180°全開(kāi)。
本體操作部位采用防靜電板,抑制操作員靜電的影響。
本體電源ON就可進(jìn)行升降機的升降操作。不用啟動(dòng)FineSAT軟件就可動(dòng)作。

標準裝備便攜控制器。 以往,移動(dòng)掃描儀內的探頭時(shí),要用鼠標或鍵盤(pán)操作顯示器畫(huà)面內的按鈕,來(lái)回移動(dòng)視線(xiàn),查看、操作探頭和監視器或鍵盤(pán)。 

如果使用便攜控制器,不用離開(kāi)視線(xiàn),就可對探頭位置進(jìn)行微調整。

配備23英寸顯示器,大幅提高數據解析等的視認性、作業(yè)性。
可選擇雙顯示器。

*1GUIPC為選購件的情況。

*2與本公司以往機型相比,因條件而有所不同。

*3因測定條件不同,*大掃描速度可能受到限制。




功能
采用的64bit處理系統,大幅強化解析功能。


■ 高分辨率波形顯示

能將超聲波的測定時(shí)間單位設定為以往的1/4,所以深度方向的分辨率提高到了4倍。 

不斷細微化、多層化的電子裝置的薄層內的缺陷、層間剝離的檢測、深度位置信息的精度提高。


■ 多焦點(diǎn)
通過(guò)掃描時(shí)連續改變焦點(diǎn)位置的功能,1次測定就可獲得對焦不同的多個(gè)深度的圖像,所以能防止漏看缺陷。

■ 多閘門(mén)縮略圖顯
對于通過(guò)多閘門(mén)測定的多個(gè)不同信息的圖像,可生成縮略圖,轉換為容易選擇的一覽顯示。
縮略圖圖像可單獨變更調色板。

■ 覆蓋物顯示(反射圖像/透射圖像重疊)
可重疊顯示通過(guò)反射法/透射法同時(shí)測定取得的2個(gè)圖像。另外,對于顯示的圖像,可調整透明度,所以可設定為容易判斷的圖像。

■ 作為選購件,準備了圖像銳化、體積圖像、孔隙瀏覽器等軟件

可與圖像銳化軟件(對超聲波信號劣化進(jìn)行補正,使圖像更加鮮明)、體積圖像軟件(在測定后將收集的波形數據解析為測定圖像和波形)、孔隙瀏覽器軟件(顯示孔隙(缺陷)后進(jìn)行合格與否判定、統計處理)等高度的解析軟件組合。


■ 追隨掃描功能
這種掃描方式可適于與不平整的彎曲晶圓、扭曲的被檢體。
掃描時(shí)可追隨被檢體的表面。

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