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產(chǎn)品概覽 技術(shù)規格 資料下載 行業(yè)應用

在高分辨率、受好評的FineSAT Ⅲ的基礎上,進(jìn)一步提高了分辨率


為提高分辨率,提高了以往使用的超聲波頻率。 在高頻化方面,超聲波在傳播介質(zhì)中的衰減越來(lái)越大,信噪

比降低的弊端變大,所以在檢查用途方面,300MHz前后是實(shí)用的*高頻率。



300MHz頻率的超聲波,在*佳條件下,僅 限于5μm左右寬度的線(xiàn)型識別,對于正在應用于*新LSI封裝的TSV、Cu柱等微細結構體的檢查時(shí),可能無(wú)法適用。
FineSAT HR開(kāi)發(fā)了新型電路、提高了分辨率,成功突破了這類(lèi)超聲波檢查裝置的極限。

產(chǎn)品構成:

FS100ⅢHR FS200ⅢHR FS300ⅢHR
支持探頭頻率(MHz) 5~75 5~140 5~300

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