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產(chǎn)品概覽 技術(shù)規格 資料下載 行業(yè)應用

OLS全自動(dòng)3D激光測量系統

定制/自動(dòng)化/智能化

由OLS5100激光掃描顯微鏡頭部靈活搭載在定制測量系統中,在保證測試精度的同時(shí),
實(shí)現定制化需求下

高質(zhì)量數據的快速獲取。


· 智能、簡(jiǎn)單易用
· 自動(dòng)化CNC編程
· 定制化



功能特點(diǎn)


3D測量激光顯微鏡LEXT OLS5100

簡(jiǎn)化測量檢測流程:

自動(dòng)創(chuàng )建實(shí)驗計劃 / 數據自動(dòng)填充 / /數據趨勢可視化
簡(jiǎn)便的一鍵式操作:
智能掃描 / 便捷分析 / 分析模板
值得信賴(lài)的數據
LEXT 專(zhuān)用物鏡 / 4K掃描技術(shù) / 智能物鏡選擇

1. 高精度、快速測量系統

奧林巴斯MEMS掃描振鏡能夠實(shí)現具有較低掃描軌跡失真和較小光學(xué)像差的精 確X-Y掃描,采用0.78nm光柵及PEAK算法可在低倍率和高倍率下提供3D數據重建的快速、精準的測量結果。OLS全自動(dòng)3D激光測量系統在獲得彩色的圖像、激光圖像和3D形貌數據的基礎上, 可以實(shí)現線(xiàn)粗糙度( ISO4287標準) 及面粗糙度(ISO25178標準)豐富數據的測量。奧林巴斯以基于可以追溯系統的顯微鏡保證準確度和重復性,讓您對測量結果充滿(mǎn)信心。

2. 實(shí)現測試流程智能控制,簡(jiǎn)單易操作。
智能物鏡選擇助手通過(guò)三個(gè)簡(jiǎn)單的步驟即可為粗糙度選擇合適的物鏡,減少因錯誤選擇物鏡造成的實(shí)驗時(shí)間浪費?;赑eak算法的快速掃描、針對臺階樣品的跳躍式掃描及HDR掃描保證測試過(guò)程智能、精準、快速。從參數設置到數據采集過(guò)程的智能控制,操作簡(jiǎn)單。

3. 自動(dòng)化CNC編程,提高測試效率
在一個(gè)樣品中,通過(guò)移動(dòng)電動(dòng)載物臺預先注冊多個(gè)位置的坐標信息,顯微鏡可以連續自動(dòng)獲取多個(gè)位置的數據,連續測試相似形貌的樣品時(shí),可將電動(dòng)載物臺坐標系設定與樣品匹配,實(shí)現高效率檢測。相機視野內,檢測目標自動(dòng)搜索,提高測試精度和速度??梢哉{用宏工具,讓整個(gè)測試工作流程實(shí)現自動(dòng)化,多維度提高測試效率。

4. 滿(mǎn)足多領(lǐng)域定制化服務(wù)
硬件定制化:
根據客戶(hù)檢測內容及工件大小靈活定制XYZ電動(dòng)臺及對應自動(dòng)化方案。
軟件定制化:
根據客戶(hù)測試需求定制軟件測量模塊,可以實(shí)現批量的數據測試及數據上傳功能,提高數據處理分析效率。





我們的定制解決方案支持多種樣品規格:

12英寸硅晶圓

顯示面板

汽車(chē)/機械零件

大型印制電路板(PCB)

電動(dòng)汽車(chē)(EV)電池

太陽(yáng)能電池


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